具有控制功能的愛發(fā)科ulvac真空計由六個基本單元組成，即:真空測量單元、輸入電路、壓力設(shè)定電路、比較電路、驅(qū)動電路和繼電器或無觸點開關(guān)。

如果帶控制功能的愛發(fā)科ulvac真空計控制電路是微電腦，控制壓力由面板上的碼盤、鍵盤或電位器設(shè)定，控制信號由微電腦的I/O接口引出。目前，鍍膜設(shè)備中具有控制功能的愛發(fā)科ulvac真空計大多由2~4路控制壓力信號輸出，壓力控制電路的數(shù)量可以根據(jù)客戶的不同要求進行擴展。

1.真空測量單元是原始的真空計控制電路，用于測量受控壓力。雖然具有控制功能的愛發(fā)科ulvac真空計有很多種，其結(jié)構(gòu)原理也各不相同，但它們的真空測量單元都輸出與被控壓力有關(guān)的電信號，因此被視為壓力信號源，專門用于輸出與被控壓力有關(guān)的電信號。

2.輸入電路。它放大或轉(zhuǎn)換信號，以便與給定的電壓進行比較。

3.壓力設(shè)定電路。也叫給定壓力回路，起設(shè)定受控壓力的作用。

4.比較電路。它可以比較或識別給定的壓力值和測量的壓力值。當(dāng)給定壓力值等于測量壓力值時，發(fā)出控制信號。

5、驅(qū)動電路和繼電器或無觸點開關(guān)，需要討論:

(1)采用無觸點開關(guān)作為真空控制單元，驅(qū)動電路為觸發(fā)電路；

(2)如果用繼電器作為真空控制單元，那么驅(qū)動電路就是功率放大電路，因為比較電路的負載能力通常較差，無法提供足夠的驅(qū)動功率讓繼電器工作。

這六個電路單元構(gòu)成了具有控制功能的愛發(fā)科ulvac真空計的自動開關(guān)。在操作中，由壓力設(shè)定電路設(shè)定對應(yīng)于受控壓力的給定電壓。當(dāng)真空測量單元測得的受控壓力等于給定壓力時，比較電路將發(fā)出控制信號，驅(qū)動電路將操作無觸點開關(guān)或繼電器，從而改變受控真空設(shè)備的運行狀態(tài)，實現(xiàn)真空設(shè)備的自動控制和保護。