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電容式薄膜真空計(jì)的原理是什么？跟著愛(ài)發(fā)科ulvac真空計(jì)廠(chǎng)家來(lái)簡(jiǎn)單了解下吧。
電容式薄膜真空計(jì)是一種用于絕對(duì)壓力和總壓力測(cè)量的真空計(jì)。原理是施加在電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化，即電容的變化，然后電容的變化通過(guò)鑒頻器轉(zhuǎn)換成電流或電壓的變化，構(gòu)成輸出信號(hào)。因此，它的測(cè)量直接反映了真空壓力的變化值，它只與壓力有關(guān)，與氣體成分無(wú)關(guān)，即薄膜真空計(jì)是直接測(cè)量型的。
電容式薄膜真空計(jì)的原理。
根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變，引起電容變化的原理制成的真空計(jì)，稱(chēng)為電容式薄膜真空計(jì)，由電容式薄膜真空計(jì)管(也稱(chēng)為電容式壓力傳感器)和測(cè)量?jī)x器組成。根據(jù)測(cè)量電容的方法不同，有兩種儀器結(jié)構(gòu):偏移法和零位法。零位法是一種測(cè)量精度高的補(bǔ)償方法。目前計(jì)量部門(mén)采用零位結(jié)構(gòu)作為低真空對(duì)標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)。
