?愛(ài)發(fā)科真空泵維修
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日本愛(ài)發(fā)科油回轉(zhuǎn)真空泵VD30CVD60CVD90CVD40C維修昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司是由一批長(zhǎng)期服務(wù)于某知名外企的骨干精英組建而成,注冊(cè)資金100萬(wàn),自公司成立起一直致力于真空設(shè)備及配件的研究、生產(chǎn)、推廣、銷(xiāo)售、安裝
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日本愛(ài)發(fā)科低溫泵CRYO-U維修保養(yǎng)它會(huì)得到一個(gè)干凈的真空,這是其他泵無(wú)法獲得的;所有氣體都可以排出;由于不需要液氮,因此運(yùn)行成本低;安裝在任何方向;緊湊的設(shè)計(jì),重量輕;操作簡(jiǎn)單;與離子泵和渦輪分子泵相比,它獲得了更大的排放速
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日本愛(ài)發(fā)科ULVAC油擴(kuò)散真空泵PFL系列PFL-22PFL-36PFL-52維修保養(yǎng)油擴(kuò)散真空泵PFL系列
優(yōu)良的抽運(yùn)速度;
操作液低回流;
減少所需功率和流體容量,以確保低運(yùn)
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日本愛(ài)發(fā)科ULVAC油擴(kuò)散泵ULK系列維修保養(yǎng)專(zhuān)為嚴(yán)重的背壓而設(shè)計(jì);
在壓力降到10-2Pa(10-4torr)時(shí),性能非常穩(wěn)定;
使用軟管法蘭(ULK-04A和06A上的排氣法蘭除外);
泵
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日本愛(ài)發(fā)科ULVAC干真空泵LR/HR/UR系列
低溫泵:LR系列泵是為負(fù)載鎖定或PVD工藝設(shè)計(jì)的;
ULVAC獨(dú)特的鋁設(shè)計(jì)允許在整個(gè)泵體上的溫度分布非常均勻:HR曝氣泵是為CVD和蝕刻工藝設(shè)