渦輪分子泵
TwisTorr 84 FS
TwisTorr 84 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟性。TwisTorr 技術對小分子氣體(如氫氣和氦氣)能提供高壓縮比,從而實現(xiàn)大抽氣量和高前級耐壓,進而能使用更經(jīng)濟實惠、更小型的前級泵。該技術使得轉子能采用緊湊的設計,變得高效節(jié)能,并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動,并能保證最佳的軸承工作條件,從而能延長工作壽命,最大程度減少系統(tǒng)停機時間,并能確保長時間穩(wěn)定性。TwisTorr 84 FS 泵獨有的軸承和干式潤滑劑設計,使得泵無需泵油和維護,能夠以任意方向安裝??蛇x擇一體式控制器或機架控制器。
參數(shù)曲線
壓縮比與前級壓力關系
附件
07_Turbo_Pumps.pdf