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普發(fā)真空為真空處理過程中的氣體測定提供了各種不同的分析儀。從質(zhì)譜儀到復雜的分析系統(tǒng)，在我們這里您將會找到從超高真空范圍一直到大氣壓力的氣體分析解決方案。四極桿質(zhì)譜儀 PrismaPlus/PrismaPro 是氣體分析最基礎(chǔ)的設(shè)備。PrismaPlus/Pro 是一個普遍適用的質(zhì)譜儀，其磁場軸技術(shù)保證了高靈敏度。它還具有高效率以及測量速度快的特點。并且 PrismaPlus/Pro 不僅僅顯示各自的分壓，同樣也可以檢測總壓力。它的界面接口使這款質(zhì)譜儀可以很容易地與氣體色譜儀連接。緊湊的設(shè)計，模塊化結(jié)構(gòu)和用戶友好軟件 使其成為泄漏檢測、半導體制造、玻璃鍍膜、冶金化工的理想設(shè)備。另外，在研發(fā)領(lǐng)域也有無數(shù)的應(yīng)用。普發(fā)真空為其客戶在所有這些領(lǐng)域中提供量身定制的解決方案。當然，普發(fā)真空還提供所需的質(zhì)譜儀配件，例如各種離子源陰極。
質(zhì)譜測量是一種可以用來測量原子和分子質(zhì)量的方法。通過這種方式測量化學混合物成分的分壓來分析化合物。待分析的物質(zhì)首先被轉(zhuǎn)化為氣態(tài)的聚合狀態(tài)并且發(fā)生電離。電場使離子加速，使得它們在其各自的質(zhì)荷比基礎(chǔ)上被分類和分離。然后測定氣體各種成分的分壓。每個質(zhì)譜儀包括一個離子源、一個質(zhì)量過濾器和一個檢測器。根據(jù)所采用的質(zhì)量過濾器來區(qū)分不同類型的質(zhì)譜儀 。由于其廣泛的應(yīng)用選項，四極桿質(zhì)譜儀具有可靠的測量表現(xiàn)。這些分析設(shè)備也經(jīng)常用于真空技術(shù)。
四極桿質(zhì)譜儀具有平行排列的四根電極桿，構(gòu)成了四極場。它們的交點與平面垂直于圓柱體軸線，形成一個場（因此命名為四極）。靜態(tài)電場使離子加速以后，離子飛過四極場。桿之間的四極場每次只會允許給定質(zhì)量的一個粒子通過，。四極桿質(zhì)譜儀提供高分辨率版本以簡易版兩種型號供用戶用作殘余氣體分析。由于其頻率范圍寬，這類質(zhì)譜儀可應(yīng)用于眾多領(lǐng)域，包括從藥理學到環(huán)境分析領(lǐng)域。
帶有法拉第檢測器的四極桿質(zhì)譜儀是用于高真空氣體成分定性分析的首選設(shè)備。
與真空計相比，四極桿質(zhì)譜儀提供了有關(guān)真空方面更豐富的信息。通常法拉第檢測器足以獲取高真空下的有關(guān)泄漏、水蒸汽或碳氫化合物污染物泄漏的信息。為此，普發(fā)真空提供了一系列具有多種質(zhì)量范圍和陰極材料的四極桿質(zhì)譜儀。
模塊化結(jié)構(gòu)的緊湊型質(zhì)譜儀可適合您的使用。有以下離子源可供選擇：具有極高靈敏度和線性的開放式離子源，適用于殘余氣體分析和 HV 與極高真空范圍內(nèi)分析性任務(wù)。適用于與進氣系統(tǒng)接合的氣密離子源。適用于直接進氣的交叉臂離子源。格柵離子源特別針對極高真空內(nèi)殘余氣體分析，具有極低脫氣率和解吸率。
較高質(zhì)量范圍內(nèi)殘余氣體分析的質(zhì)量范圍 1-100 amu
耐用及高效的殘余氣體分析以及高真空范圍內(nèi)真空工藝監(jiān)控
分析儀和電子裝置的互換性
兩根長絲形成最佳可用性
| 陰極 | 加熱溫度：分析儀 | 連接 | E/A 接口 | 訂單號 |
|---|---|---|---|---|
| 鎢 | 200攝氏度 | 0° | PT M05 111 110 | |
| 鎢 | 200攝氏度 | 0° | I/O 220 | PT M05 111 111 |
| 鎢 | 200攝氏度 | 90° | PT M05 111 120 | |
| 鎢 | 200攝氏度 | 90° | I/O 220 | PT M05 111 121 |
| 釔銥 | 200攝氏度 | 0° | PT M05 112 110 | |
| 釔銥 | 200攝氏度 | 0° | I/O 220 | PT M05 112 111 |
PrismaPlus 緊湊型質(zhì)譜儀
適用于 Windows XP Professional 和 Vista Ultimate 的 Quadera?軟件
通過簡單點擊調(diào)用泄漏查找及殘余氣體分析程序
借助集成的矩陣計算確定氣體濃度
最低檢測分壓 1 · 10-12 hPa
網(wǎng)絡(luò)通過以太網(wǎng)實現(xiàn)
模擬式和數(shù)字式輸入端及輸出端
浦發(fā)真空總壓變送器的連接可能性
| E/A 接口 | I/O 220 |
| EMC | EN 61326-1 |
| MID 中的測量通道的數(shù)量 | 128 件 |
| 供應(yīng): 電壓 | 90 – 260 V AC |
| 分辨率，10% 峰值高度時可調(diào)節(jié) | 0.5 - 2.5 u |
| 加熱溫度：分析儀 | 200 攝氏度 |
| 安全 | EN 61010-1 / IEC 1010 |
| 安裝方向 | 任意 |
| 對 Ar 的靈敏度 | 1 · 10-3 A/hPa |
| 對于相鄰物體的輸入：40 比 41 | 10 百萬分率 |
| 峰值比的可再現(xiàn)性 | 0.5 % |
| 工作溫度：分析儀 | 150 攝氏度 |
| 工作溫度：電氣設(shè)備 | 0 – 40 攝氏度 |
| 探測器 | Faraday |
| 接口 | Ethernet |
| 最大工作壓力： | 1 · 10-4 hPa |
| 桿系統(tǒng)：直徑 | 6 毫米 |
| 桿系統(tǒng)：長度 | 100 毫米 |
| 檢測限 | 1 · 10-12 百帕 |
| 測量速度：MID | 2 ms - 60 s/amu |
| 測量速度：掃描條形圖 | 20 ms - 60 s/amu |
| 測量速度：模擬掃描 | 20 ms - 60 s/amu |
| 溫度：儲存 | -25 – 70 攝氏度 |
| 離子源 | 開，2 陰極 |
| 質(zhì)量范圍 | 1 – 100 u |
| 輸入數(shù)字 | 4 + EXT_PROTECTION, 24 V |
| 輸入模擬 | 5 x ± 10 V / 14 位 |
| 輸出：數(shù)字 | 16 x 槽，光電隔離，24 V |
| 輸出：模擬 | 4 x 0-10 V / 12 位 |
| 連接 | 0° |
| 連接法蘭（入口） | DN 40 CF-F |
| 連接，總壓傳感器 | 各有一個接口用于 ActiveLine 和 DigiLine 變送器 |
| 重量 | 2.6 千克 |
| 陰極 | 鎢 |
