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KASHIYAMA SDE120TX干泵維修
| 日本KASHIYAMA樫山工業(yè) |
| SDE120TX |
產(chǎn)品詳情
KASHIYAMA SDE-TX Series：
Harsh Process Application Example:
LP-CVD
ALD
Metal-Etch
SA-CVD
Metal-CVD
PE-CVD
Spec. / Products | SDE120TX |
Max. pumping speed | 1,500 |
Ultimate pressure | 1.3 |
Supply voltage | 380～480V?3Phase AC200～220V, |
Dimensions [mm] | W:370 |
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